Temperatura i wilgotność w laboratoryjnej przestrzeni konstrukcyjnej są określane głównie zgodnie z wymaganiami procesu, ale poziom komfortu człowieka powinien być brany pod uwagę przy spełnianiu wymagań procesu. Wraz z poprawą wymagań dotyczących czystości powietrza pojawiło się coraz ostrzejsze zapotrzebowanie na temperaturę i wilgotność procesu. Specyficzne wymagania procesowe dla temperatury zostaną wymienione później, ale z zasady, ze względu na coraz dokładniejszą dokładność przetwarzania, wymagania dotyczące zakresu wahań temperatury stają się coraz mniejsze.
Na przykład, w procesie ekspozycji litograficznej wytwarzania układów scalonych na dużą skalę, różnica współczynnika rozszerzalności cieplnej między szkłem a płytką krzemową jako materiałem maskowym musi być mniejsza i mniejsza. Wafel krzemowy o średnicy 100 μm, wzrost temperatury o 1 stopień spowodował liniowe rozszerzenie o 0,24um, musi mieć stałą temperaturę ± 0,1 stopnia, podczas gdy wymagana wilgotność jest na ogół niższa, ponieważ ludzie się pocą, produkt będzie zanieczyszczone, w szczególności Boi się warsztatu półprzewodnikowego sodu, temperatura tego warsztatu nie powinna przekraczać 25 stopni, problem nadmiernej wilgotności generuje więcej problemów. Gdy wilgotność względna przekroczy 55%, na ścianie rury chłodzącej utworzy się skraplanie. Jeśli wystąpi w precyzyjnym urządzeniu lub obwodzie, spowoduje to różne wypadki.
Przepisy dotyczące ciśnienia
W przypadku większości pomieszczeń czystych konieczne jest utrzymanie ciśnienia wewnętrznego (ciśnienia statycznego) wyższego niż ciśnienie zewnętrzne (ciśnienie statyczne) w celu zapobieżenia wtargnięciu zanieczyszczeń zewnętrznych. Utrzymanie różnicy ciśnień powinno zasadniczo spełniać następujące zasady:
1. Ciśnienie czystej przestrzeni jest wyższe niż ciśnienie nieczyszczonej przestrzeni.
2. Ciśnienie o wysokim poziomie czystości jest wyższe niż ciśnienie sąsiedniego niskiego poziomu czystości.
Utrzymanie różnicy ciśnień zależy od ilości świeżego powietrza, która może zrekompensować ilość powietrza wyciekającego ze szczeliny pod tą różnicą ciśnień. Tak więc fizycznym znaczeniem różnicy ciśnień jest odporność na przeciek (lub przenikanie), gdy objętość powietrza przechodzi przez różne szczeliny w pomieszczeniu czystym.
Przepisy dotyczące prędkości powietrza w czystym pomieszczeniu
Szybkość przepływu powietrza do omówienia tutaj odnosi się do prędkości przepływu powietrza w pomieszczeniu czystym. Prędkość przepływu powietrza w innych pomieszczeniach czystych omawia się podczas omawiania konkretnego sprzętu.
Dla turbulentnego pomieszczenia czystego Ponieważ główne działanie polega głównie na rozcieńczaniu powietrza w celu zmniejszenia stopnia zanieczyszczenia w pomieszczeniach, koncepcja liczby wymian powietrza jest stosowana głównie zamiast bezpośrednio przy użyciu koncepcji prędkości, ale są również następujące wymagania dotyczące prędkości powietrza w pomieszczeniach;
(1) Prędkość powietrza na wylocie wylotu powietrza nie powinna być zbyt duża. W porównaniu z prostym klimatyzowanym pomieszczeniem wymaga większego tłumienia prędkości i większego kąta rozproszenia.
(2) Prędkość przepływu powietrza (na przykład prędkość recyrkulacji w czasie podawania bocznego), która jest nadmuchiwana w płaszczyźnie poziomej, nie powinna być zbyt duża, aby nie wysadzić cząstek powierzchniowych, aby powrócić do przepływu powietrza i spowodować ponowne zanieczyszczenie. Zasadniczo ta prędkość nie powinna być większa niż 0,2 m / s.
W przypadku pomieszczenia o równoległym przepływie "powszechnie zwanego laminarnym pomieszczeniem czystym" prędkość przekroju jest bardzo ważnym wskaźnikiem ze względu na to, że tłok jest głównie używany do przepływu powietrza, aby wykluczyć farbowanie. W przeszłości powoływano się na standard 20 gB w Stanach Zjednoczonych i użyto 0,45. m / s. Ale ludzie nauczyli się również, że ilość wentylacji wymagana dla tak dużej prędkości jest bardzo duża. Aby oszczędzać energię, poszukują także możliwości zmniejszenia prędkości wiatru.
W Chinach obowiązują zarówno Air Cleantech Measures, jak i Cleanroom Design Code
Pionowy, równoległy przepływ (laminarny), pomieszczenie czyste ≥0,25 m / s
Pomieszczenia czyste z przepływem równoległym (laminarnym) ≥ 0,35 m / s
Kontrola hałasu
Normy hałasu dotyczące czystej konstrukcji laboratoryjnej są na ogół bardziej rygorystyczne niż normy dotyczące ochrony zdrowia. Celem jest zapewnienie, że operacje są wykonywane normalnie i że wymagany kontakt konwersacyjny oraz bezpieczne i wygodne środowisko pracy są spełnione. Dlatego głównym wskaźnikiem hałasu w czystym pomieszczeniu jest.
1. Wpływ kłopotów
Z powodu hałasu ludzie czują się nieswojo i mają problemy z emocjami. Zazwyczaj są podzielone na bardzo ciche, bardzo ciche, ciche, lekko hałaśliwe, stosunkowo głośno i bardzo głośno. Tam, gdzie poziom reakcji jest bardzo hałaśliwy i bardzo hałaśliwy, jest to wysoki poziom lęku, a odsetek dużej liczby problemów w ogólnej liczbie to wysoki poziom lęku.
2. Wpływ na wydajność pracy
Zależy to głównie od poziomu reakcji w trzech obszarach. Te trzy aspekty to: koncentracja, dokładność działania i szybkość pracy;
3. Zakłócenia ze zintegrowaną komunikacją